בתהליך של עיבוד חלקים מכניים וחלקי אצווה קטנים, דיוק עיבוד CNC כולל בדרך כלל שלוש רמות של פרמטרים: דיוק מפרט, דיוק צורה ודיוק מיקום.
1. פרמטרי המפרט החיצוני של עיבוד CNC
המפרט הספציפי של המשטח עצמו או אמצע המשטח לאחר עיבוד חלקי CNC תואמים את מפרט החלק האידיאלי. מפרט עיבוד החלק האידיאלי מתייחס לערך החציוני של המפרט המצוין בציור החלק.
2. פרמטרי דיוק צורה של עיבוד CNC
הצורה הספציפית של פני השטח של חלק ה-CNC לאחר העיבוד תואמת את צורת פני השטח האידיאלית של החלק. צורת פני השטח האידיאלית של החלק מתייחסת לצורת גיאומטריית פני השטח המסוימת.
3. פרמטרים של דיוק חלקי של עיבוד חלקי CNC
לאחר עיבוד חלקי ה-CNC, החלקים הספציפיים של כל משטח תואמים לחלקים שבין המשטחים של החלק האידיאלי. החלק שבין המשטחים של החלק האידיאלי מתייחס לחלק המסוים שבין המשטחים.